糙度轮廓仪是机械加工中描述表面微观形貌 常用的参数,它反映的是机械零件表面的微观几何形状误差,随着机械加工行业的发展表面粗糙度测量技术也得到长足进步,特别是70年代中后期,随着微电子计算机应用的逐步普及和现代光学技术、激光应用技术的发展,使粗糙度测量技术在机械加工、光学加工、电子加工等精密加工行业中的地位显得愈发重要。
粗糙度轮廓仪的测量方法基本上可分为接触式测量和非接触式测量两类:在接触式测量中主要有比较法、印模法、触针法等;非接触测量方式中常用的有光切法、散斑法、像散测定法、光外差法、AFM 、飞光学传感器法等。
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